●特徴
●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。

●仕様
●型番:C1005
●フルスケール流量-ガス種:500SCCM-He
●ガス種類:He
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15~35℃)
●応答性:6sec
●流量制御範囲:5~100%FS
●入出力:アナログ信号(0~5VDC)
●バルブ形式:N/Oノーマルオープン
●再現性:±0.2%FS
●動作圧力範囲:50~300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続:1/4in.SWL相当
●電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0~5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:127×25.5×100mm C1005-500SCCM-He●メーカー名 ●備考●商品品番 aso3-5069-04●JAN4589645250293●メーカー型番C1005
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